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进口全氟橡胶o型圈 全氟橡胶 FFPM(Perfluoroelastomer) 优点: ? 佳耐热特性 ? 优异的抗化学特性 ? 低Outgassing 特性 ? 优异之抗Plasma特性 缺点: ? 耐低温特性较差 ? 原料价格较高 ? 生产难度较高 适用范围: ? 全氟系列产品广泛地运用于半导体产业及信息相关产业所运用, 运用范围包含薄膜制程中之PVC, CVD及蚀刻制程及各种高真空密封制程。 硅氟橡胶 氟橡胶(FKM,FPM)分子式 (一) 分子结构 CF3 —(CH2—CF2 ) ( CF2—CF) A—Type CF3 —(CH2—CF2 ) ( CF2—CF) (CF2—CF2 ) B—Type/ F —Type CF3 —(CH2—CF2 ) ( CF2—CF) (CF2—CF2 )CSM G—Type OCF3